半导体设备国产化又一重大突破！芯慧联新首台混合键合设备出货

2024年11月6日，芯慧联新（苏州）科技有限公司（简称“芯慧联新”）在江苏常熟举办了D2W混合键合设备SIRIUS RT300及首台W2W混合键合设备CANOPUS RT300出机仪式。W2W型号系业内高精度混合设备里程碑，是我国半导体专用设备国产化替代的又一重大突破。

半导体技术演进至今，摩尔定律在微小化方面推进放缓，传统的二维互连封装技术已无法解决高集成度和趋近微缩物理极限尺寸的芯片产生的互连延时以及功耗增加等问题。同时，随着人工智能（AI）、5G通信网络、高性能计算机（HPC）、云计算等产业高速发展，对芯片运算速度、带宽、存储等性能提出了更高的要求。因此，三维集成与封装技术以其极高密度互连、低电阻、低延迟、更好的散热性能、小型化及高性能封装的优势成为超越摩尔定律的主流选择。混合键合技术在此背景下应运而生，作为一种创新的互连解决方案，它能够将不同功能的芯片或晶圆以垂直堆叠的方式进行集成，从而实现更高的集成度、更快的数据传输速度。混合键合因此被视为芯片连接的革命性技术，半导体巨头如AMD、英特尔 、台积电、SK海力士、三星已纷纷布局。例如：台积电的3D封装-SoIC使用的混合键合技术，已应用于AMD V-Cache；SK海力士HBM（高带宽存储器）芯片中积极推进混合键合工艺，于今年三季度实现HBM产品26亿美元的销售收入；三星亦加大对混合键合设备的投资，完成了8层和12层堆叠的HBM3E产品的客户认证。

混合键合设备为极高精密设备，开发难度极高。其面临的技术挑战主要为：在极度清洁的环境中，完成极高精度的芯片对芯片对准工艺，并实现大面积晶圆上数十亿个连接点的成功键合。当前，混合键合的主要设备供应商包括BESI、EVG、SUSS，核心技术一直掌握在欧美少数的公司中，并且采用专利形式进行技术产权的保护，致使欧美在混合键合市场一直处于绝对垄断状态。

此次，芯慧联新发布的D2W混合键合设备、W2W混合键合设备，打破了该设备国内市场的长期空白状态，实现了半导体键合设备关键技术的自主可控。

根据公开信息，芯慧联新由苏州芯慧联半导体科技有限公司（简称“芯慧联”）通过派生分立于2024年9月12日成立。分立前，芯慧联主营涂胶显影机、光刻机等黄光制程设备；湿法清洗设备；半导体产线用自动化设备；半导体设备所需的关键零部件及耗材；以及主要应用于 HBM、3D闪存生产制造等3D化IC应用领域的晶圆键合设备等业务。因芯慧联业务结构与科创板上市标准存在一定冲突和矛盾，芯慧联通过派生分立进行业务优化和结构调整。由芯慧联继承已进入商业化发展阶段的涂胶显影机、光刻机等黄光制程设备；湿法清洗设备；半导体产线用自动化设备；半导体设备所需的关键零部件及耗材等业务。由派生出的芯慧联新持续高研发、高投入晶圆键合设备业务。芯慧联新目前已经实现熔融及混合先进键合设备全覆盖，公司研发的W2W和D2W混合键合设备在键合强度、键合界面间缺陷情况、对准精度、微扭曲等核心技术指标在所有测试厂商中排名前列，达到全球领先水平。

沪市主板公司百傲化学（603360.SH）作为全球工业杀菌剂龙头企业，受国际经济及政治的影响，市场空间进一步提升受限。因此，百傲化学一直努力寻求新的业务发展方向和业绩增长点。并购新规的出台对跨界收购给予了政策支持，百傲化学也积极响应政策的号召，公告将合计斥资8亿元，开启与芯慧联的全面合作，正式从工业杀菌剂领域切入技术壁垒较高的半导体设备领域。

此次合作，百傲化学将以人民币7亿元增资芯慧联，并通过接受表决权委托方式实现对芯慧联的控股。未来，百傲化学将发挥上市公司的平台优势，持续支持芯慧联光刻机、涂胶显影机、湿法清洗设备、自动化及机械手设备的研发及商业化推广。同时，百傲化学将作为芯慧联新本轮融资的领投方，向芯慧联新增资人民币1亿元。在公告中，百傲化学亦表示若芯慧联新实现盈利，且同时符合并购资产的相关要求，有意愿积极推进并购芯慧联新的相关事宜。

此次百傲化学对芯慧联的并购和对芯慧联新的增资，是一次跨行业的深度融合，具有深远的意义。一方面，百傲化学实现了对半导体设备领域的战略布局，开辟了新的业务增长曲线，提升了公司的核心竞争力和可持续发展能力。另一方面，百傲化学以其雄厚的资金实力，为芯慧联和芯慧联新在半导体设备研发上注入源源不断的现金支持，使其能够早日完成技术突破、实现半导体设备国产化替代。这种跨行业的合作模式，不仅符合市场经济发展的规律，更是积极响应国家战略号召的生动实践。

总书记提出“发展新质生产力是推动高质量发展的内在要求和重要着力点”“要整合科技创新资源，引领发展战略性新兴产业和未来产业，加快形成新质生产力”。百傲化学的此次并购之举，将提升关键技术水平的优质资产注入上市公司以实现转型升级目标，积极响应了“并购六条”提出的上市公司向新质生产力方向转型升级、资源向新质领域聚集的号召，是深入贯彻总书记关于经济发展思路的重要体现。

百傲化学最新公告，将于2024年11月14日召开临时股东大会审议《关于子公司拟对外投资暨增资并控股苏州芯慧联半导体科技有限公司的议案》，这标志着“并购新规”发布后，第一例非关联交易的跨界并购即将正式落地。

本文来源：中国金融信息中心 陆家嘴金融网

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